Припиніть дозволяти лампам опалення пошкоджувати ваші вафери
Якщо ви працюєте у чистій кімнаті класу 100, ви, напевно, знаєте, яка це проблема. Одна-єдина крихітна частинка пилу – щось, що навіть не видно – може зробити всю партію ваферів безцінною. Це дуже розчаровуюче.
Проблема полягає у тому, що звичайні інфрачервоні лампи часто є причиною таких проблем. Вони випромінюють гази чи мікроскопічні частинки зі своїх оболонок, тож фактично стають „фабриками пилу“ саме там, де це найменше прийнятно.
Ми вирішили цю проблему, перейшовши на використання високочистого сплавленого кварцу для елементів опалення.
Чому кварц насправді важливий
Більшість скла містить металеві домішки. Ми використовуємо синтетичний сплавлений кварц, оскільки він усуває всі ці домішки.
Кварц не лише передає тепло, але й запобігає утворенню пилу, яке спостерігається при використанні дешевших ламп. Ми обробляємо поверхню кварцу так, щоб вона залишалась хімічно інертною. Це означає, що коли лампа досягає максимальної температури, ніщо не витікає назовні. Поверхня залишається чистою.
Необхідна точність
Тут все залежить від точності. Потрібен ідеальний баланс між потужністю та площею поверхні.
Ми налаштували ці лампи так, щоб вони випромінювали концентрований спектр короткохвильового інфрачервоного світла. Енергія швидко проникає крізь поверхню вафера, але не пошкоджує оточуючі елементи. Це забезпечує стабільний температурний профіль на всій поверхні вафера. Це і є нашою метою.
Увага: потрібно обережно поводитися
Високочистий кварц є дуже чутливим з хімічної точки зору, але з фізичної точки зору він досить крихкий. Він не може витримувати таких же механічних навантажень, як зміцнене скло. Якщо кріплення лампи занадто туге чи система стабілізації вібрацій не функціонує належним чином, це може призвести до появи тріщин на поверхні кварцу. Тож необхідно забезпечити лампі достатньо простору для розширення під час нагрівання.
Інтеграція в процес роботи
Ми створили ці лампи так, щоб їх можна було легко інтегрувати в існуючу систему. Ніхто не хоче довгих перерв на технічне обслуговування. Розміри лампи мінімальні, а з’єднання надійні, тож ви не будете випадково потрапляти забруднювачів у систему під час заміни компонентів.
Останній порада: переконайтеся, що процес очищення вакуумом чи інертним газом відбувається синхронно з нагріванням лампи. Якщо це не відбувається, на поверхні кварцу можуть утворитися відкладення, що зіпсує всю справу.