Як правильно контролювати температуру у вакуумній камері
Якщо ви будуєте сучасний завод з виробництва чипів, ви, напевно, усвідомлюєте, що теплова енергія є серйозною проблемою. Як тільки повітря видаляється з вакуумної камери, процес конвекції припиняється. У таких умовах залишається лише використання радіації для нагріву об’єкта.
Саме тут на допомогу приходять інфрачервоні системи. Вони не борються з вакуумом, а працюють разом з ним – передаючи енергію безпосередньо до цілі, без необхідності використання посередників.
Не треба здогадуватися щодо температури
Усі ми мали справу зі стандартними резистивними нагрівачами. Проблема полягає у тому, що вони працюють повільно – їм потрібно багато часу, щоб нагрітися, а ще більше часу – щоб охолонути. Коли потрібно керувати процесом за допомогою принципу PID, така затримка стає справжньою проблемою. Це ускладнює аналіз даних та робить весь процес складнішим.
Інфрачервоні нагрівачі працюють миттєво. Оскільки вони реагують у реальному часі, їх можна підключити безпосередньо до системи керування. Ви не просто спостерігаєте за температурою за допомогою термопари, а можете точно визначити тепловий профіль вашого чипа. Це значна різниця між приблизним визначенням температури та точним визначенням місць найвищих температур.
Реалії роботи у вакуумі
Робота обладнання у вакуумі має свої особливості. По-перше, проблемою є випаровування речовин. Ніхто не хоче, щоб забруднювачі псували процес виробництва. Щоб уникнути цього, використовується кварц високої чистоти та спеціальні покриття на лампах, щоб все залишалося чистим.
Крім того, є проблема з енергією. Щоб швидко досягти потрібної температури, потрібно використовувати велику кількість енергії. Але це призводить до значного нагрівання в місцях, де знаходиться обладнання. Якщо система охолодження не справляється з цим завданням, можуть виникнути проблеми з герметичністю чи сенсорами. Це вимагає правильного балансування.
Як зробити систему ефективною
Ніхто не хоче, щоб система керування температурою займала половину приміщення. Завдяки використанню короткохвильових інфрачервоних променів можна розмістити джерело тепла значно ближче до цілі. Це дозволяє уникнути використання великих корпусів та складних конструкцій. Така система стає простою заміною застарілих, громіздких рішень.
В результаті ви отримуєте більше чипів на квадратний метр площі. Схема розташування обладнання стає простішою, а процес виробництва – ефективнішим.