فیبریکیشن لیول پر، سافٹ بیک کے دوران آدھے ڈگری کا فرق بھی وائر لائنوں کی سمت کو بدل سکتا ہے، جس کی وجہ سے بہت سارے ویفروں کو بیکار قرار دینا پڑتا ہے۔ ہم نے اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے سیرامک انفراریڈ ہیٹر پینل تیار کیا؛ تاکہ حرارتی عمل باقاعدگی کے ساتھ ہو، اور یہ حرارتی عمل ہیٹ پلیٹ کی حالت پر منحصر نہ رہے۔
تکنیکی لحاظ سے کیا اہم ہے؟ ہم سیرامک انفراریڈ ایمیٹرز استعمال کرتے ہیں، کیوں کہ یہ تیزی سے ردِعمل دیتے ہیں، اور درکار جگہ پر درست مقدار میں حرارت فراہم کرتے ہیں۔ پینل، ویفر کے سطح کے درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر رکھتا ہے، اور بند لوپ کنٹرول اور مستقل ایمیٹر ڈھانچے کی وجہ سے اس کی درستگی برقرار رہتی ہے۔
سیٹپوائنٹس 10 سیکنڈ سے بھی کم وقت میں تبدیل ہو جاتے ہیں، جس سے بیکنگ کے مختلف مراحل کے درمیان منتقلی آسان ہو جاتی ہے۔ اس طرح حرارتی بجٹ برقرار رہتا ہے، اور پیٹرن کی ساخت برقرار رہتی ہے۔ یہ پینل کلین روم کے ماحول کے لئے بھی مناسب ہے؛ کیوں کہ اس سے کم گیسیں خارج ہوتی ہیں، اور آپریشن کے دوران کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا، جس سے کلاس 1-100 کے معیارات کی پابندی برقرار رہتی ہے۔
یہ حل کیوں مفید ہے؟ یہ پینل، لیتھوگرافی اور فوٹوریزسٹ پروسیسنگ کے دوران پیش آنے والے مسائل کو حل کرتا ہے؛ کیوں کہ یہ سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے عمل کو باقاعدگی اور یکسانیت کے ساتھ انجام دیتا ہے۔ سب-ملی میٹر کی سطحی یکسانیت کی وجہ سے کم نقائص پیدا ہوتے ہیں، CD کنٹرول بہتر رہتا ہے، اور بیکار ویفروں کی تعداد کم ہو جاتی ہے۔
تیز ردِعمل کی وجہ سے پروسیسنگ کا وقت کم ہو جاتا ہے، اور مستقل آؤٹ پٹ کی وجہ سے دوبارہ کام کرنے کی ضرورت نہیں پڑتی۔ اس کے علاوہ، صرف ضروری علاقے کو ہی گرم کیا جاتا ہے، جس سے توانائی کی بچت ہوتی ہے۔ پیکیجنگ اور ویفر ڈرائنگ کے دوران بھی یہی درستگی بہتر چپکنے کی صلاحیت اور مستقل خشک ہونے کی صلاحیت فراہم کرتی ہے، جس سے دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے۔
کیا چیزوں کو درست رکھنا ضروری ہے؟ یہ پینل موجودہ ہیٹ پلیٹس اور بیکنگ ماڈیولز میں استعمال کیا جا سکتا ہے، لیکن ویفر کی سطح کے ساتھ اس کی سیدھ میں رکھنا بہت اہم ہے۔ فکسچر کی درستگی 0.1 ملی میٹر کے اندر ہونی چاہیے؛ ورنہ یکسانیت متاثر ہو جائے گی۔
آپریشن وولٹیج اور کولنگ کو مخصوص حدود کے اندر رکھنا ضروری ہے، اور سپلائی کو صاف اور خشک رکھنا ضروری ہے، تاکہ طویل مدتی استحکام برقرار رہے۔ اگر نمی کی سطح زیادہ ہے، تو تحفظاتی ونڈو شامل کی جا سکتی ہے، جس سے ردِعمل کا وقت متاثر نہیں ہوگا۔
اس پینل کی عمر 5,000 گھنٹوں سے زیادہ ہو سکتی ہے، اور آؤٹ پٹ میں 5% سے بھی کم کمی ہوگی۔ مینٹیننس کو بھی باقاعدگی کے ساتھ کیا جانا چاہیے، نہ کہ ہنگامی حالات میں۔