فیبرکی پلیٹوں کو 50 مائکرومیٹر تک پتلا کیا جاتا ہے، لیکن خشک کرنے کے عمل میں یکسانیت نہ ہونے کی وجہ سے پیداوار میں کمی واقع ہو جاتی ہے۔ جب “سافٹ بیک” کے عمل میں تغیرات آتے ہیں، تو فوٹوریزسٹ کی سطح میں بھی تغیرات پیدا ہو جاتے ہیں۔ جب خشک کرنے کے دوران درجہ حرارت بہت زیادہ بڑھ جاتا ہے، تو پیکیجنگ کے عمل میں مشکلات پیدا ہو جاتی ہیں۔ ہم نے اس قسم کی حرارتی عدم استحکامات کو دور کرنے کے لئے انفراریڈ ہیٹرز تیار کئے ہیں۔
تکنیکی اعتبار سے اہم باتیں: ہم چھوٹی لہروں والے انفراریڈ ایمیٹرز استعمال کرتے ہیں، جن کی حرارتی ردِعمل کی رفتار بہت تیز ہے؛ اس طرح ہم چند سیکنڈوں میں مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچ جاتے ہیں، اور اسے برقرار رکھتے ہیں۔ پلیٹوں کی سطح پر درجہ حرارت کی یکسانیت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے، اور ایمیٹرز کی عمر بھی قابل پیشن گوئی ہوتی ہے۔ یہ سسٹم کلاس 1-100 کے صاف کمروں میں بھی کام کر سکتا ہے، اور ہم سیل شدہ کوارٹز کھڑکیوں اور کم گیس خارج ہونے والے راستوں کے ذریعہ ذرات کی پیداوار کو کم کرتے ہیں۔ پتلی پلیٹوں کے لئے توانائی کی کثافت کو مناسب طریقے سے ایڈجسٹ کیا جاتا ہے؛ تاکہ محلولوں کو جلدی خارج کیا جا سکے، لیکن یہ حرارت اتنی ہی ہوتی ہے کہ پلیٹوں کو نقصان نہ پہنچے۔
ہمارے کام کے لئے اس کی افادیت: پلیٹوں کو خشک کرنے کے عمل میں، انفراریڈ شعاعیں براہِ راست پانی کی تہہ پر پڑتی ہیں، اس طرح عمل کا دورانیہ کم ہو جاتا ہے، اور حرارتی بوجھ بھی کم ہو جاتا ہے۔ فوٹوریزسٹ کی پروسیسنگ میں، یہ ایمیٹرز مطلوبہ درجہ حرارت کو برقرار رکھتے ہیں، تاکہ پلیٹوں کی سطح کی ساخت میں یکسانیت برقرار رہے۔ پیکیجنگ کے عمل میں، یہ ایمیٹرز منظم طریقے سے حرارت فراہم کرتے ہیں، تاکہ پلیٹوں کو نقصان نہ پہنچے۔ نتیجتاً، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، خرابیوں کی شرح کم ہو جاتی ہے، اور پیداواری صلاحیت بہتر ہو جاتی ہے۔ توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے، کیوں کہ ہیٹر کم وقت ہی کام کرتا ہے، اور زیادہ وقت مستقل حالت میں ہی رہتا ہے۔
جو باتیں پہلے ہی جاننا ضروری ہے: انفراریڈ شعاعیں صرف سیدھی لکیر میں ہی سفر کرتی ہیں، اس لئے ایمیٹرز کی جگہ کا انتخاب پلیٹوں کی ساخت کے مطابق ہونا ضروری ہے۔ عکاس سطحوں اور صاف کوارٹز سطحوں کو برقرار رکھنا ضروری ہے؛ ورنہ کناروں پر گرم نقاط پیدا ہو جاتے ہیں۔ مناسب توانائی فراہم کرنے اور حرارتی نظام کو برقرار رکھنے کی ضرورت ہے، تاکہ کمرے کی دیواریں ٹھنڈی رہیں۔ جب سب کچھ درست طریقے سے سیٹ ہو جائے، تو عمل کا دورانیہ بہت زیادہ ہوتا ہے، لیکن اس کے لئے درستگی کی سطح بہت کم ہوتی ہے۔