ফ্যাব ফ্লোরে, ওয়েফারগুলোকে ৫০ µm পর্যন্ত পাতলা করা হয়। কিন্তু শুকানোর প্রক্রিয়াটি সমানভাবে ঘটে না; ফলে ওয়েফারগুলোর গুণমান কমে যায়। ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ায়ও সমস্যা দেখা দেয়। কিউরিং প্রক্রিয়ায় তাপমাত্রা বেড়ে গেলে প্যাকেজিং প্রক্রিয়ায়ও সমস্যা দেখা দেয়। এই ধরনের সমস্যাগুলো দূর করার জন্যই আমরা ইনফ্রারেড হিটার ব্যবহার করি।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা দ্রুত ও সরাসরি তাপ সরবরাহ করতে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটার ব্যবহার করি। ফলে নির্ধারিত তাপমাত্রায় পৌঁছানো সম্ভব হয়, আর তাপমাত্রা অতিরিক্ত না হয়। ওয়েফারের সমস্ত অংশে তাপমাত্রা ±0.1°C এর মধ্যে থাকে। এমিটারগুলো নির্দিষ্ট সময় পর নষ্ট হয়; কিন্তু তারপরও তাপ সরবরাহ অব্যাহত থাকে। এই সিস্টেমটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে ব্যবহার করা যায়। সিলড কোয়াটজ উইন্ডো ও কম গ্যাস নির্গমন ব্যবস্থার কারণে কণা উৎপাদন কম হয়। পাতলা ওয়েফারগুলোর জন্য উপযুক্ত তাপ সরবরাহ করা হয়—যাতে দ্রুত সলভেন্টগুলো দূর হয়, কিন্তু ওয়েফারের পিছনের অংশে চাপ না পড়ে।
আমাদের কাজে এটি কেন কার্যকর?
ওয়েফার শুকানোর প্রক্রিয়ায় ইনফ্রারেড রশ্মি সরাসরি জলের স্তরে আঘাত করে; ফলে প্রক্রিয়াটি দ্রুত শেষ হয়। ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়ায় এটি নির্দিষ্ট তাপমাত্রা বজায় রাখে; ফলে ওয়েফারের গুণমান ভালো থাকে। প্যাকেজিং প্রক্রিয়ায় এটি নিয়ন্ত্রিত তাপ সরবরাহ করে; ফলে কোনো সমস্যা দেখা দেয় না। ফলে রিওয়ার্কের পরিমাণ কমে যায়, ত্রুটিগুলো নিয়ন্ত্রণে থাকে, আর উৎপাদন ক্ষমতাও বাড়ে। শক্তি ব্যবহারও কম হয়, কারণ হিটারগুলো কম সময় নিষ্ক্রিয় থাকে।
আপনাকে আগে থেকে কী জানা দরকার?
ইনফ্রারেড রশ্মি সরাসরি আঘাত করে; তাই এমিটারগুলোকে ওয়েফারের গঠন ও অবস্থান অনুযায়ী স্থাপন করতে হয়। প্রতিফলনশীল উপাদান ও পরিষ্কার কোয়াটজ পৃষ্ঠ ব্যবহার করতে হয়; নইলে ওয়েফারের কিনারাগুলোতে অতিরিক্ত তাপ সৃষ্টি হয়। নির্দিষ্ট পাওয়ার সরবরাহ ও তাপ নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা থাকা দরকার। একবার সবকিছু ঠিক হয়ে গেলে প্রক্রিয়াটি সহজভাবে চলে; কিন্তু সেটআপের ক্ষেত্রে সঠিকতা অপরিহার্য।