Den Staub stoppen: Bessere Heizung für Ihre Fertigungsanlage
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie das Problem: Schon ein kleiner Staubkorn oder etwas Gas, das von einem billigen Heizer freigesetzt wird, kann dazu führen, dass die Qualität der gewonnenen Wafers stark beeinträchtigt wird. Das ist frustrierend – man tut alles richtig, und dann versagt doch irgendein Bauteil.
Deshalb haben wir auf hochreine synthetische Quarzlampen umgestellt. Diese sind speziell für den Halbleiterbereich entwickelt worden – dort bedeutet „sauber“ tatsächlich sauber.
Das Geheimnis liegt im Quarz.
Wir verwenden geschmolzenes Silizium, aus dem alle Verunreinigungen entfernt wurden. Warum? Weil Metallionen bei hohen Temperaturen gerne bewegt werden. In minderwertigem Glas führt diese Bewegung dazu, dass mikroskopisch kleine Teilchen auf die Arbeitsfläche fallen. Unsere Lampen verhalten sich nicht so. Zudem wird die Lampenhülle noch glattgeschliffen – dadurch werden die kleinen Unebenheiten auf der Oberfläche beseitigt, in denen sich Partikel verstecken können.
Kommen wir nun zur Leistung der Lampen.
Diese Lampen strahlen konzentrierte Kurzwellen-Infrarotenergie ab. Der Vorteil hierbei ist die Geschwindigkeit: Die gewünschten Temperaturen werden schnell erreicht, ohne dass der gesamte Raum in einen Ofen verwandelt wird.
Wir bieten verschiedene Spannungseinstellungen an, sodass Sie die Lampen einfach an die vorhandenen Stromquellen anschließen können. Nur eine Warnung: Diese Lampen sind sehr leistungsstark. Wenn Ihre Kühlsysteme nicht richtig dimensioniert sind, können die Befestigungsbrackets beschädigt werden. Überprüfen Sie daher vor dem Einschalten unbedingt Ihre Kühlungssysteme.
Die Installation sollte kein Problem sein.
Wir verwenden standardmäßige R7- und SK15-Anschlüsse. Es handelt sich dabei um einen einfachen Austausch. Sie müssen nicht Ihren ganzen Steuerkasten umrüsten, nur um die Heizgeräte zu erneuern. Zudem ist der Quarz chemisch sehr widerstandsfähig – er wird auch durch die üblichen Reinigungsmittel nicht beschädigt.
Noch ein Tipp, falls Sie diese Lampen in eine alte Anlage einbauen möchten: Überprüfen Sie unbedingt Ihre Spiegel. Wenn der Reflektor auch nur leicht schräg ist, entstehen Hotspots auf der Unterlage. Das zerstört den Nutzen der hochreinen Lampen. Nachdem Sie die Lampen installiert haben, sollten Sie eine vollständige Temperaturmessung durchführen. Das ist die einzige Möglichkeit, sicherzustellen, dass die Heizzone wirklich gleichmäßig ist.