Die richtige Temperatur in der Vakuumkammer einstellen
Wenn Sie eine moderne Fertigungsanlage bauen, wissen Sie vermutlich, dass thermische Energie ein echtes Problem darstellt. Sobald die Luft aus der Vakuumkammer entfernt wird, verschwindet die Konvektion – es bleibt nur noch die Strahlung als Wärmequelle übrig.
Deshalb kommen Infrarot-Systeme zum Einsatz. Anstatt gegen das Vakuum anzukämpfen, arbeiten diese Systeme mit ihm zusammen – sie strahlen Energie direkt auf das Ziel ab, ohne Zwischenmittel zu benötigen.
Kein Raten mehr bezüglich der Temperatur
Wir alle kennen die herkömmlichen Widerstandsheizungen. Das Problem: Sie reagieren sehr langsam. Es dauert Ewigkeiten, bis sie auf Temperatur kommen – und genauso lange, bis sie wieder abkühlen. Wenn man versucht, einen PID-Regler zu nutzen, ist diese Verzögerung ein Albtraum. Dadurch werden die Daten ungenau, und der gesamte Prozess wirkt wie das Steuern eines Schiffes mit einem kaputten Ruder.
Infrarot-Heizungen sind anders: Sie reagieren in Echtzeit. Deshalb können sie direkt mit dem PLC verbunden werden. Man muss nicht mehr nur auf den Thermoelementen warten – man kann vielmehr das thermische Profil des Wafer genau erfassen. Das ist der Unterschied zwischen dem Raten der Raumtemperatur und dem exakten Kennen der heißen Stellen.
Die Realität der Arbeit im Vakuum
Die Arbeit in einem Vakuum hat ihre eigenen Herausforderungen. Zunächst einmal ist das Austreten von Gase ein großes Problem. Niemand möchte, dass Verunreinigungen einen sauberen Produktionsprozess stören. Um das zu verhindern, verwenden wir hochreinen Quarz sowie spezielle Beschichtungen auf den Lampen, damit alles sauber bleibt.
Dann gibt es noch die Frage der Energieversorgung. Man möchte die gewünschte Temperatur schnell erreichen, damit die Produktion weiterlaufen kann. Doch hier liegt das Problem: Wenn man hohe Leistungen in einen engen Vakuumraum leitet, entsteht erhebliche lokale Hitze. Wenn die Kühlsysteme nicht ausreichen, können Dichtungen beschädigt oder Sensoren zerstört werden. Es handelt sich dabei um ein Balanceakt.
Eine effiziente Lösung
Niemand möchte eine Heizanlage, die die Hälfte des Reinraums einzunehmen droht. Durch den Einsatz von Kurzwell-Infrarotstrahlung können wir die Heizquelle viel näher an das Ziel bringen. Dadurch können wir riesige Gehäuse und voluminöse Rahmen vermeiden. Das macht das gesamte System zur einfachen Alternative zu den alten, überdimensionierten Anlagen.
So erhalten Sie mehr Wafer pro Quadratmeter Fläche. Die Anordnung wird einfacher, der Platzbedarf verringert sich – und der Arbeitsablauf läuft reibungsloser.