Comment maintenir une salle propre de classe 100 vraiment propre
Si vous chauffez des wafer en silicium dans un environnement de classe 100, vous connaissez déjà les problèmes qui peuvent survenir. Un simple grain de poussière ou une légère émission de gaz peut gâcher toute la production. C’est frustrant. La plupart des éléments de chauffage standards ne sont pas conçus pour ça : ils se détériorent avec le temps et endommagent ainsi la qualité du produit fini.
C’est pourquoi nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté pour nos lampes à infrarouges.
Pourquoi le quartz est important
Nous utilisons de la silice fondue. Elle est incroyablement pure, ce qui signifie qu’il n’y a pas de risque que des ions métalliques s’échappent lorsque la température augmente. Le verre standard ou les matériaux moins chers ne peuvent pas résister aux contraintes thermiques ; ils se brisent. Notre matériau, lui, reste solide. Il permet donc aux rayons infrarouges de frapper directement la surface du wafer. Vous obtenez ainsi la chaleur nécessaire, sans risque de contamination.
Trouver la bonne distance entre la lampe et le wafer
La distance entre la lampe et le wafer est un point crucial. Si elle est trop petite, il y a risque de points chauds, voire de contact physique entre la lampe et le wafer. Si elle est trop grande, la densité thermique diminue et tout ralentit. Nous passons beaucoup de temps à calibrer la longueur focale afin que la chaleur soit répartie uniformément sur tout le wafer.
Mais attention : il faut également contrôler la densité d’énergie dégagée par la lampe. Les lampes à haute puissance dégagent beaucoup d’énergie. C’est bien pour accélérer le processus, mais cela représente une charge importante pour le système de refroidissement. Si vous augmentez la puissance pour gagner du temps, assurez-vous que votre système de refroidissement puisse effectivement évacuer cette chaleur. Vous ne voulez pas que vos équipements sensibles soient endommagés.
Les détails importants de l’installation
Nous avons conçu ces lampes de manière à ce qu’elles soient faciles à remplacer. Lorsqu’une pièce doit être remplacée, il est important de pouvoir reprendre rapidement le travail. Nous avons également renforcé les connexions pour éviter que les vibrations ne provoquent la chute de particules. Mais n’oubliez pas : la lampe n’est que moitié du problème. Vérifiez bien les supports utilisés pour fixer la lampe. Si ces derniers contiennent de la peinture qui s’envole dans la chambre de traitement, même le quartz le plus pur ne suffira pas à sauver votre production. Assurez-vous que les supports ne libèrent aucune particule. Ainsi, tout fonctionnera parfaitement.