글로브박스 적외선 히터 소자

글로브박스 내의 적외선 램프에 대해 더 이상 걱정할 필요는 없습니다. 고부하의 반도체 생산을 진행할 때면, 그 끔찍한 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 적외선 램프가 고장 나면, 유리 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어집니다. 엉망이 되는 것은 물론, 비용도 많이...