글로브박스 내의 적외선 램프에 대해 더 이상 걱정할 필요는 없습니다.
고부하의 반도체 생산을 진행할 때면, 그 끔찍한 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 적외선 램프가 고장 나면, 유리 조각과 할로겐 가스가 웨이퍼 위로 떨어집니다. 엉망이 되는 것은 물론, 비용도 많이 듭니다. 게다가 전체 생산량도 즉시 사라져버립니다.
우리는 이러한 상황을 계속 보는 것에 지쳐서, 그런 일이 일어나지 않도록 적외선 램프를 특별히 설계했습니다.
혼란을 막기 위한 방법
우리는 이 문제를 해결하기 위해 이중 구조를 사용합니다. 가열 요소는 고순도 석영 소재로 만들어진 케이스 안에 위치합니다. 이는 일종의 안전망 역할을 합니다. 만약 내부의 필라멘트가 고장 나거나, 열충격으로 인해 튜브가 깨진다 해도, 외부 케이스가 모든 것을 막아줍니다. 그래서 작업 공간에 유리 가루가 날아다니는 일이 없습니다. 또한, 열이 급격히 상승할 때 문제가 발생하는 부분인 단자 부분도 튼튼하게 만들었습니다.
열 문제 해결
고부하 상태에서는 열 밀도가 큰 문제가 됩니다. “핫 스폿”이 생기면 튜브가 너무 빨리 파손됩니다. 이를 해결하기 위해 우리는 와트수와 전압을 조절하고, 정확한 할로겐 주기를 사용했습니다. 이를 통해 텅스텐 필라멘트가 고르게 분포되어 램프의 수명이 훨씬 길어집니다.
하지만 주의해야 할 점은, 항상 100%의 성능으로 램프를 가동한다면 석영에 큰 부담이 가한다는 것입니다. 반드시 글로브박스의 공기 흐름이 제대로 작동하는지 확인해야 합니다. 공기가 연결 부위의 열을 제대로 빼내주지 못한다면, 와이어가 손상될 수 있습니다. 그리고 생산 과정 중에 전기적 결함이 발생하는 것은 원치 않는 일입니다.
램프 교체
우리는 표준화된 커넥터를 사용했습니다. 왜냐하면 램프를 교체하기 위해 전체 장비를 다시 연결할 필요가 없기 때문입니다. 이러한 커넥터들은 그대로 교체할 수 있습니다.
또한, 우리는 램프가 단단히 고정되도록 설계했습니다. 이는 사소한 세부 사항처럼 보일 수 있지만, 산업 현장에서는 진동이 석영에 치명적인 영향을 줍니다. 단단히 고정되면 균열이 적어지고, 장비의 가동 시간도 늘어나며, 무엇보다도 웨이퍼가 깨끗하게 유지됩니다.