IR 램프용 석영 슬리브

생산 현장에서는 포토레지스트를 건조시키는 과정에 대해 논의할 필요가 없습니다. 중요한 것은 일관된 온도 제어뿐입니다. 웨이퍼의 온도가 단 0.5도만 변동해도 치명적인 결과가 발생할 수 있습니다. 그러면 몇 시간 동안 한 번에 수행된 리소그래피 작업이 모두 낭비될 수...