웨이퍼 장비용 온도 센서

제조 현장에서, 포토레지스트 베이크 중 0.5°C 편차는 단순한 CD 변화가 아니다. 손실 위험이 크다. 웨이퍼 장비는 7×24로 가동되며, 열 불안정성은 빠르게 누적되어 열 예산을 소진시키고 재작업을 강제한다. 반복성이 명세서에 명확히 기재된 온도 센서가 필요하다....