웨이퍼 가열을 위한 안전 거리

클래스 100 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법 만약 클래스 100 환경에서 실리콘 웨이퍼를 가열한다면, 그 고통스러움을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 조각이나 가스만 있어도 전체 제품이 폐기되어버립니다. 정말 짜증나는 일입니다. 일반적인 가열 요소들은...