웨이퍼 얇게 만드는 난방용 적외선

제조 공정에서는 웨이퍼의 두께를 50µm까지 얇게 만들지만, 건조 과정이 균일하지 않아 수율이 저하됩니다. 소프트 베이크 과정에서도 문제가 생기며, 경화 과정에서는 패키징에 사용되는 물질들이 갈라집니다. 우리는 이러한 열적 불안정성을 해결하기 위해 적외선 웨이퍼 얇게...