Hou op met je zorgen maken over de IR-lampen in je glovebox
Als je met hoge belastingen semi-conductorproductie doet, ken je vast het nachtmerriescenario: een IR-lamp barst uit binnenin je glovebox. Meteen vallen er glasscherven en halogengas op je wafers terecht. Het is een chaos. Het is duur. En het vernietigt de hele partij producten op slag.
We waren het zat om dit steeds te zien gebeuren, dus hebben we onze IR-elementen zo ontworpen dat dit niet kan gebeuren.
Het voorkomen van schade
Hier is hoe we dit aanpakken: we gebruiken een dubbellaags systeem. Het verwarmende element zit in een buis van hoogzuiver kwarts. Denk hierbij aan een soort veiligheidsnet. Als het binnenste filament kapotgaat of de buis door thermische schokken barst, wordt alles opgevangen door de buitenste laag. Er komt geen glasstof meer in contact met je werkplek. We hebben ook de uiteinden van de buizen versterkt, want daar breekt het vaakst iets wanneer je de hitte snel opvoert.
Omgaan met de hitte
Wanneer je met hoge belastingen werkt, is warmtestraling een groot probleem. Als er ‘hot spots’ ontstaan, branden de buizen veel te snel uit.
Om dit op te lossen, hebben we de vermogens en spanningen goed afgestemd en hebben we een precies halogencircuit gebruikt. Hierdoor blijft het wolfraamfilament gelijkmatig verdeeld, zodat de lamp langer meegaat.
Een tip: als je deze lampen altijd op 100% capaciteit gebruikt, oefen je veel druk uit op het kwarts. Zorg er dus voor dat de luchtcirculatie in je glovebox goed werkt. Als de lucht de hitte niet weg kan halen van de verbindingen, kan dat leiden tot elektrische storingen. En niemand wil dat er een stroomstoring optreedt tijdens het productieproces.
Het vervangen van de lampen
We hebben de verbindingen volgens de industriestandaarden gemaakt. Waarom? Omdat je je hele apparaat niet hoeft te herbouwen alleen maar om één lamp te vervangen. Het zijn eenvoudige vervangingsonderdelen.
We hebben ook ervoor gezorgd dat de lampen goed passen. Het klinkt misschien als een klein detail, maar trillingen kunnen ernstige schade aan het kwarts veroorzaken in industriële omgevingen. Een goede pasvorm zorgt voor minder breuken, meer beschikbaarheid van de apparaten – en, wat het belangrijkst is: schone wafers.