Giới thiệu
Chúng tôi tạo ra các hệ thống sưởi bằng tia hồng ngoại vì một lý do duy nhất: giúp quy trình sản xuất bán dẫn hoạt động hiệu quả hơn, đồng thời tiết kiệm năng lượng. Chúng tôi muốn đưa các wafer vào trạng thái nhiệt độ phù hợp một cách nhanh chóng, với khả năng kiểm soát chính xác. Và điều quan trọng là bạn chỉ cần sử dụng một lượng năng lượng ít hơn so với các phương pháp sưởi truyền thống.
Trong cuộc chạy đua để đạt được mục tiêu công nghiệp không phát thải carbon, điều này rất quan trọng. Bạn có thể đạt được các mục tiêu môi trường mà không cần giảm tốc độ sản xuất. Không cần hy sinh bất cứ điều gì. Chỉ cần nguồn nhiệt sạch và chính xác, để đảm bảo hiệu suất sản xuất ở mức tốt nhất.
Phân tích kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng nguồn điện 400V để vận hành các bộ sưởi này. Tại sao lại như vậy? Bởi vì điều này giúp cung cấp nhiều năng lượng hơn mà không cần dòng điện lớn. Dòng điện thấp giúp giảm độ dày của dây dẫn và giảm tổn thất năng lượng trong quá trình truyền tải. Nhờ đó, nhiệt lượng được sử dụng một cách hiệu quả hơn, và không có nhiệt lượng bị lãng phí.
Kết quả là có mật độ nhiệt cao trong diện tích nhỏ. Nhiệt độ có thể được điều chỉnh nhanh chóng, và toàn bộ bề mặt wafer đều được sưởi ấm đều. Không còn hiện tượng nóng ở một điểm nào đó nữa. Không cần phải chờ đợi.
Vật liệu và thiết kế
Chúng tôi chọn loại bộ phát tia hồng ngoại sóng ngắn, được bọc trong lớp vỏ thủy tinh. Ngoài ra, chúng tôi còn sử dụng lớp phủ đặc biệt để điều chỉnh quang phổ ánh sáng. Lớp phủ này giúp tăng cường các bước sóng phù hợp, giúp nhiệt lượng được tạo ra phù hợp với khả năng hấp thụ nhiệt của silic. Bên trong, có túi halogen giúp duy trì nhiệt độ ổn định theo thời gian, tránh hiện tượng quá nóng đột ngột như khi sử dụng dây tóc thông thường.
Ngoài ra, còn có đầu nối R7s. Đây là loại đầu nối bền bỉ, có thể chịu được nhiệt độ cao, các chu kỳ hoạt động lặp đi lặp lại, và cả va đập – không bị lỏng lẻo hay phát ra tia lửa. Nhờ đó, bộ sưởi vẫn hoạt động ổn định từ lần này sang lần khác.
Ứng dụng và lợi ích
Trong nhà máy sản xuất bán dẫn, bộ sưởi wafer có nhiệm vụ duy nhất: đưa wafer vào trạng thái nhiệt độ mong muốn một cách nhanh chóng và ổn định. Hệ thống sưởi bằng tia hồng ngoại của chúng tôi làm được điều đó. Bạn có thể giảm thời gian xử lý và tiết kiệm năng lượng, điều này mang lại lợi ích lớn.
Kết quả là môi trường nhiệt độ được kiểm soát tốt hơn, giúp giảm sự biến đổi trong quy trình sản xuất và giảm số lần phải làm lại sản phẩm.
Nhưng có một điều cần lưu ý: mật độ nhiệt cao như vậy đòi hỏi phải có hệ thống làm mát phù hợp để kiểm soát nhiệt độ trong buồng sản xuất.
Và điều tuyệt vời nhất là hệ thống này có thể thay thế ngay cho các bộ sưởi hiện tại, không cần phải thiết kế lại toàn bộ hệ thống. Chỉ cần thay thế và bắt đầu sử dụng ngay.
Nếu bạn muốn xây dựng một nhà máy xanh hơn, việc tiết kiệm năng lượng sẽ giúp giảm lượng CO2 phát thải trên mỗi wafer. Đó chính là bước tiến thực sự. Đó chính là cách giúp nhà máy của bạn tiến gần hơn đến mục tiêu không phát thải carbon – mà không làm giảm hiệu suất sản xuất.