可持续的制造解决方案

为何我们在半导体制造中放弃热风加热，转而使用红外线加热？ 如果有过半导体加工的经验，那么你一定了解传统热风加热的缺点。实际上，我们只是让一团空气变热，希望它能将热量有效地传递到晶圆上。但这种做法存在延迟——就像用暖风机来加热房间一样，必须先让空气变热，物体才会随之变热。 红外线加热则省去了这个中间...