Mattson RTP灯更换

在制造车间，一个RTP工具中的灯管故障不仅仅是停掉一个腔室—它会导致整条生产线停滞。在光刻胶的软烘焙和硬烘焙过程中，温度漂移会使关键尺寸偏离目标，而晶圆上的非均匀加热使得可重复性变得不确定。Mattson RTP灯管更换设计旨在将热控制保持在所需位置：在工艺窗口内。 以下是关键点。 我们的卤素灯模...