Ihren Klass-100-Reinraum wirklich sauber halten
Wenn Sie einen Klass-100-Reinraum betreiben, ist das Letzte, was Sie brauchen, dass die Heizelemente Partikel überall im Arbeitsbereich verteilen. Das wäre ein Albtraum. Die meisten herkömmlichen Widerstandsheizungen neigen dazu, beim Erhitzen und Abkühlen zu zerfallen oder metallische Verunreinigungen abzusondern.
Deshalb haben wir für die Infrarotlampen in unseren Halterungssystemen hochreinen synthetischen Quarz verwendet. So funktionieren die Lampen einfach besser.
Warum Quarz? Im Grunde genommen reagiert gefüllter Siliziumquarz bei hohen Temperaturen nicht negativ. Er zerfällt nicht und gibt keine metallischen Verunreinigungen ab. Im Gegensatz zu den heizenden Elementen mit Metallhülle bleibt Quarz chemisch inaktiv. Er reagiert weder mit der Luft noch mit den Wafern, die Sie bewegen.
Außerdem trifft das Infrarotlicht direkt auf das Zielobjekt. Es gibt keinen „Drittanbieter“, der Kontaminanten in den Prozess bringen könnte.
Montage Wir haben diese Lampen so konzipiert, dass sie nicht im Weg sind. Sie passen perfekt in die Rahmen der Halterungen – dadurch wird eine gleichmäßige Wärmeverteilung gewährleistet.
Da wir Kurzwellen-Infrarotstrahlung verwenden, erfolgt die Aufwärmzeit extrem schnell. Das ist ein großer Vorteil, denn dadurch wird die Zeit verkürzt, in der das Produkt der Luft ausgesetzt ist.
Wir verwenden außerdem spezielle Anschlüsse, um alles fest verschlossen zu halten. Dadurch bleibt das Halogengas in der Lampe und Staub sowie Partikel bleiben draußen.
Die Nachteile Nun gibt es jedoch einen Haken: Hochreiner Quarz ist spröde. Er kann zwar Hitze aushalten, aber wenn jemand während der Wartung gegen ihn stößt, kann er zerbrechen. Man muss daher sorgfältig mit den Befestigungsarmaturen umgehen. Es darf kein mechanischer Stress auf die Quarztube ausgeübt werden – sonst gibt es Probleme.
Außerdem erzeugen diese Lampen viel Wärme. Auf dem Chassis der Halterung muss daher ein guter Wärmeableiter vorhanden sein. Andernfalls könnten die Sensoren im Reinraum durch die hohe Temperatur beeinträchtigt werden.
Noch ein Tipp: Wenn Sie diese Lampen in eine bestehende Anlage einbauen, überprüfen Sie unbedingt die Spannungsversorgung. Falls diese nicht übereinstimmt, wird der Glühfaden sofort zerstört, sobald Sie den Schalter betätigen.