Wir haben diese Infrarotlampe mit einem vergoldeten Reflektor entwickelt – aus einem einfachen Grund: Damit jede einzelne Wattstunde Strom in nutzbare Wärme umgewandelt wird. In der Waferfertigung gibt es keinen Platz für Wärme, die sonst abdriftet. Es ist daher notwendig, dass die Energie gezielt eingesetzt wird – und genau das leistet der vergoldete Reflektor.
Im Inneren befindet sich ein hochleistungsstarkes Halogenelement, das in einer Quarzkapsel untergebracht ist. Die Form dieser Kapsel ist nicht zufällig – sie wurde absichtlich so gewählt. Die Geometrie des Reflektors sowie die Länge des Tubus sorgen dafür, dass die Wärme genau dort konzentriert wird, wo sie benötigt wird. So kann man präzise auf den Prozess eingreifen, ohne Überschreitungen.
Leistung, Spannung und Größe der Lampe sind so gewählt, dass möglichst viel Wärme in einem kleinen Raum erzeugt werden kann. Hohe Leistung bedeutet, dass die Temperatur schnell erreicht wird – und gleichzeitig kann die Wärme besser kontrolliert werden. Doch das bedeutet auch, dass die Maschine darauf vorbereitet sein muss – Kühlungssysteme und elektrische Anschlüsse müssen der Belastung entsprechen. Wenn man eine Hochleistungslampe verwendet, muss man die entstehende Wärme berücksichtigen und sicherstellen, dass die Verkabelung geeignet ist.
Der vergoldete Reflektor dient nicht nur der Optik. Er sorgt dafür, dass die meiste Energie der Lampe wieder auf das Ziel gerichtet wird. Dadurch entsteht weniger Strahlung, die umliegenden Bauteile werden besser geschützt – und mehr Energie erreicht den Wafer.
Quarz ist die logische Wahl, denn er kann hohe Temperaturen aushalten und bleibt im Infrarotbereich transparent – dadurch kann die Energie effizient weitergeleitet werden. Das Halogenelement hält den Filament über eine lange Zeit stabil, wodurch eine konstante Leistung gewährleistet wird. Der R7s-Bi-Pin-Anschluss ist außerdem in vielen industriellen Geräten üblich – er ermöglicht eine einfache Verbindung und Wartung.
In der Waferfertigung bietet die Infrarotlampe mit dem vergoldeten Reflektor zuverlässige Wärmeprofile sowie ein reproduzierbares Startverhalten. Die Reaktion der Lampe ist schnell, die Leistung konstant – und die Wärme wird auch in engen Maschinenräumen gut kontrolliert. Mehr Energie kommt somit zum Prozess – weniger geht verloren.
Allerdings gibt es auch Nachteile. Eine hohe Leistungsdichte erfordert eine gute Belüftung sowie eine effektive Isolation in der Lampe. Planen Sie die Luftzirkulation und die Montage entsprechend – dann funktioniert die Lampe wie ein echtes Werkzeug – und nicht wie eine Stelle, an der ständig mit Überhitzung zu rechnen ist.