Wie man Wafer richtig trocknet: Warum Gold wichtig ist
Das Trocknen von Wafern erfordert eine präzise Handhabung. Das Wasser muss schnell verschwinden – doch gleichzeitig dürfen keine Wasserflecken oder Staubpartikel zurückbleiben. Es handelt sich dabei um eine Aufgabe mit hohen Anforderungen.
Meist verwenden wir goldbeschichtete Reflektoren, damit die Infrarotenergie der Heizgeräte tatsächlich auf den Wafer trifft. Ohne diese Reflektoren geht viel von dieser Energie einfach in die Wände der Kammer verloren – das sind im Grunde Verschwendungen.
Warum Gold?
Stellen Sie sich Standard-Alu-Reflektoren vor: Sie sind zwar in Ordnung, doch sie saugen viel zu viel Energie auf. Gold hingegen ist hervorragend darin, Infrarotstrahlen wieder dorthin zurückzuschicken, wo sie hingehören.
Wenn wir einen goldenen Reflektor herstellen, lenken wir die verstreuten Strahlen in einen konzentrierten Strahl um. Dadurch gelangt mehr Wärme auf den Wafer – ohne dass man die Leistung der elektrischen Geräte erhöhen muss. Es handelt sich dabei um eine intelligente Art der Fokussierung.
Das „versteckte“ Problem
Bei Energieaudits habe ich dieses Problem oft festgestellt: Bei bestimmten Trockenlinien arbeiten die Lampen auf Hochtouren – doch die Temperatur des Wafers erreicht trotzdem nicht das gewünschte Niveau. Die meisten Menschen gehen davon aus, dass die Lampen nicht stark genug sind. Doch meistens sind die Lampen in Ordnung – die Wärme entweicht einfach. Der Einsatz von goldbeschichteten Reflektoren löst dieses Problem. So erhalten Sie mehr „nützliche“ Wärme für jeden eingesetzten Watt.
Die Herausforderung
Gold ist allerdings kein Zaubermittel – es ist eigentlich ziemlich empfindlich. Wenn man korrosive Gase verwendet oder die Geräte mit aggressiven Chemikalien reinigt, kann die Beschichtung abplatzen oder oxidieren. Sobald das passiert, sinkt die Reflektivität. Man muss darauf achten, wie dick die Beschichtung ist – und man muss vorsichtig sein, wenn man die Lampen austauscht. Ein einziger Kratzer kann dazu führen, dass die Effektivität der Reflektoren sinkt.
Lohnt es sich?
Falls man eine große Produktionslinie betreibt, dann auf jeden Fall. Eine Steigerung der Wärmeeffizienz um 5 % mag auf den ersten Blick nicht viel erscheinen – doch sie führt zu erheblichen Einsparungen beim Stromverbrauch sowie zu kürzeren Produktionszeiten. Zudem hilft das, wenn das Kühlsystem bereits unter großer Belastung steht. Da weniger Wärme in das Gehäuse des Geräts gelangt, muss das Kühlsystem nicht so hart arbeiten. Alle profitieren davon.