
مقدمه
دلیل ساخت سیستمهای گرمایشی مادون قرمز این است که به شما کمک کنند تا خطوط تولید نیمههادی خود را با مصرف انرژی کمتری، بهتر از قبل اداره کنید. منظورمان این است که ویفرها را به سرعت و با کنترل دقیق، در دمای مناسب قرار دهید. در عین حال، مصرف انرژی شما بسیار کمتر از سیستمهای گرمایشی قدیمی خواهد بود.
در رقابت برای دستیابی به کارخانههای بدون انتشار کربن، این موضوع بسیار مهم است؛ شما میتوانید به اهداف زیستمحیطی خود برسید، بدون اینکه سرعت تولید خود را کاهش دهید. هیچ تضادی وجود ندارد؛ فقط گرمای پاک و دقیقی وجود دارد که به شما کمک میکند تا بازدهی تولید خود را در سطح مطلوبی نگه دارید.
بررسی فنی
ما از این سیستمهای گرمایشی بر روی ولتاژ ۴۰۰ ولت استفاده میکنیم. چرا؟ چون این کار باعث میشود تا انرژی بیشتری در اختیار شما قرار گیرد، بدون اینکه جریان الکتریکی زیادی مصرف شود. جریان کمتر، به معنای سیمهای نازکتر و کاهش اتلاف انرژی است. همچنین، گرمای اضافی در سیستم الکتریکی کمتر خواهد بود. گرمای مورد نیاز، دقیقاً در محل مناسب، یعنی روی ویفر، تولید میشود.
پاداش این کار چیست؟ چگالی گرمای بالا در فضای کوچک. شما میتوانید سرعت گرم شدن ویفر را افزایش دهید و گرمای یکنواختی روی کل ویفر ایجاد کنید. هیچ نقطهی گرم وجود نخواهد داشت.
مواد و طراحی
ما از فرستندههای مادون قرمز کوتاهامواج استفاده کردهایم؛ این فرستندهها درون غلافی از جنس کوارتز قرار دارند. همچنین، لایهی ویژهای نیز روی آنها وجود دارد که طیف نور را تنظیم میکند. این لایه، طول موجهای مناسب را تقویت میکند تا گرمای تولید شده دقیقاً مطابق با آنچه که سیلیکون میتواند جذب کند، باشد. درون این فرستندهها، کپسولهای هالوژنی وجود دارد که باعث میشود خروجی گرما در طول زمان ثابت بماند؛ بنابراین، مشکلاتی مانند سوختن ناگهانی فیلامنتها وجود نخواهد داشت.
همچنین، از کانکتور R7s نیز استفاده شده است؛ این کانکتور بسیار مقاوم است و در برابر گرمای بالا، چرخههای مکرر و حتی لرزشها، مقاومت خوبی دارد. بنابراین، لامپ شما همواره در حالت مناسب باقی خواهد ماند.
کاربرد و مزایا
در کارخانه، کارکرد اصلی گرمکن ویفر، رسیدن سریع به دمای مورد نظر و حفظ آن در آن دماست. سیستم مادون قرمز ما دقیقاً همین کار را انجام میدهد. شما میتوانید زمان لازم برای گرم شدن ویفر را کاهش دهید و انرژی کمتری مصرف کنید؛ این کار منجر به صرفهجویی قابل توجهی در مصرف انرژی خواهد شد.
نتیجه، پروفایل ترمال بهتری خواهد بود؛ یعنی کمترین انحراف در فرآیند تولید وجود خواهد داشت.
اما یک نکته مهم وجود دارد؛ چگالی گرمای بالا نیاز به سیستم خنککننگ مناسبی دارد تا گرمای محیطی را کنترل کند.
بهترین بخش این است که این سیستم به عنوان جایگزین مناسبی طراحی شده است؛ بنابراین میتوانید آن را جایگزین سیستمهای فعلی خود کنید، بدون نیاز به تغییرات گسترده در سیستم تولید.
اگر به دنبال کارخانهای سبزتر هستید، صرفهجویی در مصرف انرژی، مستقیماً منجر به کاهش میزان CO2 تولید شده در هر ویفر خواهد شد. این یک پیشرفت واقعی است؛ یعنی کارخانه شما به سمت بدون انتشار کربن حرکت میکند، بدون اینکه عملکرد آن کاهش یابد.