در فرآیند تولید، حتی اختلاف نیم درجهای در دمای حرارت، میتواند باعث از کنترل خارج شدن خطوط تراشیده شده روی ویفرها شود و منجر به از بین رفتن تعداد زیادی از ویفرها شود. ما پنلهای گرمایشی سرامیکی مادون قرمز را طراحی کردهایم تا این نوسانات را کنترل کنند؛ بنابراین رفتار حرارتی دقیقاً مطابق با دستورالعملهای مشخص شده خواهد بود، نه بسته به شرایط محیطی.
از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارند؟ ما از فرستندههای سرامیکی مادون قرمز استفاده میکنیم؛ زیرا آنها به سرعت واکنش نشان میدهند و دقیقاً در همان نقاطی که نیاز به گرما وجود دارد، گرما تولید میکنند. یکنواختی گرمایی در این پنلها در حد زیر میلیمتر است. این پنلها دمای سطح ویفر را در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد نگه میدارند؛ همچنین، کنترل دقیق از طریق سیستم کنترل حلقه بسته و الگوی ثابت فرستندهها، از یکنواختی گرمایی جلوگیری میکند.
تغییرات دما در کمتر از ۱۰ ثانیه اتفاق میافتد؛ بنابراین میتوانید به راحتی بین مراحل مختلف فرآیند تغییر دهید. این امر باعث میشود که کنترل دما به خوبی انجام شود و سلامت الگوهای تراشیده شده حفظ شود. ساختار این پنلها مناسب برای محیطهای پاک است؛ زیرا گازات کمی تولید میشوند و هیچ ذرهای در حین کار تولید نمیشود؛ بنابراین میتوانید از محدودیتهای مربوط به تعداد ذرات در این محیطها پیروی کنید.
چرا این پنلها برای حل مشکلات فرآیندی مناسب هستند؟ این پنلها مستقیماً برای حل مشکلات مربوط به فرآیندهای لیتوگرافی و فوتورزیست استفاده میشوند؛ زیرا فرآیندهای حرارتی باید قابل تکرار، یکنواخت و بدون نوسان باشند. یکنواختی گرمایی در سطح ویفر، باعث کاهش نقصهای لبهای، کنترل بهتر کیفیت ویفرها و کاهش تعداد ویفرهای از بین رفته میشود.
واکنش سریع این پنلها، زمان فرآیند را کاهش میدهد؛ همچنین، خروجی پایدار این پنلها باعث کاهش کارهای تکراری میشود. همچنین، از نظر انرژی نیز صرفهجویی میشود؛ زیرا فقط همان ناحیهای که نیاز به گرما دارد، گرم میشود. در فرآیندهای بستهبندی و خشک کردن ویفرها، این دقت باعث بهتر شدن چسبندگی و خشک شدن یکنواخت ویفرها میشود؛ در نتیجه، تعداد تکرارها کاهش مییابد و بازدهی فرآیند بهبود مییابد.
چه چیزهایی باید در نظر گرفته شوند؟ این پنلها میتوانند در فرآیندهای موجود استفاده شوند، اما تطبیق آنها با سطح ویفر بسیار مهم است. تفاوت اندازههای فیکسچرها باید در حد ۰.۱ میلیمتر باشد؛ در غیر این صورت، این موضوع باعث نوسانات در یکنواختی گرمایی خواهد شد.
مطمئن شوید که ولتاژ و سیستم خنککنندگی در محدوده مشخص شده باقی بمانند؛ همچنین، سیستم تغذیه باید تمیز و خشک باشد تا پایداری طولانیمدت حفظ شود. اگر رطوبت بالایی وجود داشته باشد، میتوانید یک پنجره محافظ اضافه کنید؛ بدون اینکه بر سرعت واکنش پنل تأثیر بگذارد.
انتظار داشته باشید که این پنلها بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کنند، بدون اینکه کیفیت خروجی آنها بیش از ۵٪ کاهش یابد. همچنین، تعمیرات باید در بازههای زمانی مشخصی انجام شود، نه در شرایط اضطراری.