خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS بدون ایجاد مشکلات
خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS کاری پیچیده است؛ باید آب را به سرعت از روی ویفرها حذف کرد، اما اگر این کار را با شدت زیاد انجام دهیم، خطر استرس حرارتی یا باقی ماندن باقیماندههای ناخواسته وجود دارد.
روشی که ما پیدا کردهایم، استفاده از گرمکنهای مادون قرمز همراه با منعکسکنندههای پوشیده شده با طلا است. این روش شاید پیچیده به نظر برسد، اما در واقع هدف آن، اطمینان از این است که گرما درست به روی ویفر برسد و نه فقط داخل دستگاه گرم شود.
چرا طلا؟
فکر کنید به یک لامپ کوارتز معمولی؛ این لامپ گرما را در همه جهات پخش میکند. در یک سیستم معمولی، تقریباً نیمی از انرژی لامپ هدر میرود.
با استفاده از پوشش طلا، میتوانیم حدود ۹۸٪ از نور مادون قرمز را دوباره به جای مناسبشان هدایت کنیم.
این کار فقط برای کاهش هزینههای برقی نیست؛ بلکه مربوط به کارایی دستگاه نیز هست. وقتی انرژی را در هر سانتیمتر مربع متمرکز کنیم، به سرعت به دمای مورد نظر میرسیم. زمان انجام کار کاهش مییابد و بازدهی دستگاه افزایش مییابد. این یک راهحل بسیار خوب است.
بخش پیچیده
البته، نمیتوانیم فقط توان لامپ را افزایش دهیم و کار را تمام کنیم.
وقتی با چنین گرمای بالایی سروکار داریم، بدنه لامپ آسیب میبیند. اگر جریان هوا به خوبی تنظیم نشود، رشتههای الکتریکی لامپ زودتر از حد معمول سوخته خواهند شد.
ما سعی میکنیم ابعاد لامپ را کوچک نگه داریم و در عین حال، منطقه گرمایشی را تا حد امکان مؤثر کنیم. هدف ما، داشتن توزیع یکنواخت گرما در سطح کل سنسور است؛ نمیخواهیم که لبههای ویفر سوخته شوند، در حالی که مرکز آن هنوز خیس باشد.
تنظیم صحیح
یک نکته مهم دیگر: تنظیم صحیح موقعیت لامپ بسیار مهم است.
اگر لامپ حتی چند میلیمتر از جای خود منحرف شود، نقطه تمرکز گرما نیز تغییر میکند. در این صورت، نقاط سردی روی ویفر ایجاد میشود و کار دوباره از ابتدا شروع میشود.
ما پیشنهاد میکنیم از براکتهای محکم برای نصب لامپ استفاده کنید؛ این براکتها لامپ را در جای خود نگه میدارند، حتی در صورت لرزش دستگاه. به این ترتیب، گرما به طور یکنواخت در سراسر سطح سنسور توزیع میشود.