حفظ تمیزی محیط کلاس ۱۰۰
وقتی که در یک محیط کلاس ۱۰۰ کار میکنید، آخرین چیزی که نیاز دارید این است که عناصر گرمایشی، ذراتی را در سراسر محیط پخش کنند. این وضعیت واقعاً فاجعهبار است. اکثر هیترهای معمولی، هنگام گرم شدن و سرد شدن، دچار تخریب میشوند.
به همین دلیل، ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا برای لامپهای مادون قرمز در سیستمهای نیمههادی خود استفاده کردیم. این روش بهتر عمل میکند.
چرا کوارتز؟
در واقع، کوارتز از شوک حرارتی در دماهای بالا آسیب نمیبیند. این ماده تجزیه نمیشود و هیچ ذره فلزی از آن خارج نمیشود. برخلاف هیترهای فلزی، کوارتز کاملاً بیتأثیر از نظر شیمیایی است؛ بنابراین با هوا یا ویفرهایی که در حال حرکت هستند، واکنش نشان نمیدهد.
علاوه بر این، تشعشعات مادون قرمز مستقیماً به هدف برخورد میکنند؛ بنابراین هیچ عامل واسطهای وجود ندارد که باعث ورود آلایندهها به فرآیند شود.
نحوه نصب
ما این لامپها را طوری طراحی کردیم که در مسیر حرکت ویفرها قرار نگیرند. این لامپها به خوبی در قابهای مربوطه جای میگیرند؛ بنابراین گرمای یکنواختی در سراسر ویفرها تأمین میشود.
از آنجایی که از تشعشعات مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم، زمان لازم برای گرم شدن لامپ بسیار کوتاه است. این موضوع یک مزیت بزرگ است؛ زیرا مدت زمانی که محصول در معرض هوا قرار دارد، کاهش مییابد.
همچنین، از کانکتورهای ویژهای برای حفظ بسته بودن سیستم استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود گاز هالوژن در داخل لامپ باقی بماند و گرد و غبار در بیرون بماند.
معایب
البته، کوارتز با خلوص بالا شکننده است؛ این ماده میتواند شوک حرارتی را تحمل کند، اما اگر در حین تعمیرات به آن ضربه برسد، خرد خواهد شد. بنابراین باید مراقب قرارگیری لامپها باشید؛ باید از وجود هرگونه فشار مکانیکی بر روی لامپ جلوگیری کرد.
همچنین، این لامپها حرارت زیادی تولید میکنند؛ بنابراین برای جلوگیری از افزایش دمای هوا، باید از سیستمهای خنککننده مناسب استفاده کرد.
یک نکته دیگر: اگر قصد استفاده از این لامپها در خطوط تولید موجود را دارید، حتماً ولتاژ مورد نیاز را بررسی کنید؛ اگر ولتاژها مطابقت نداشته باشند، لامپ در همان لحظه خراب خواهد شد.