Riscaldamento a infrarossi per sottilizzazione dei wafer
Nella sala di produzione, i wafer vengono assottigliati fino a 50 µm; tuttavia, la qualità del prodotto peggiora a causa di una essiccazione non...
Sensore di temperatura per utensile a wafer.
On the fab floor, una deriva di 0,5°C durante la fase di bake del photoresist non è solo uno spostamento del CD. È molto in gioco. Le wafer tool...