粉塵を防ぐ：より優れた加熱システムを導入しましょう
クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その苦労はご存知でしょう。ちょっとした粉塵や、安価なヒーターから出るガスだけで、ウェーハの品質が大幅に低下してしまいます。本当にイライラしますよね。すべてを正しく行っているのに、何かの部品が故障してしまうのです。
そこで私たちは、高純度の合成石英製のIRランプに切り替えました。これらは半導体産業向けに特別に設計されており、「清潔」というのは本当に厳格な基準で定義されます。
秘密は石英にあります。
私たちは不純物を取り除いた融晶ケイ酸を使用しています。なぜかというと、高温になると金属イオンが動きやすくなります。低品質のガラスでは、その動きによって微細な破片が作られ、それが直接ワークピースに付着してしまいます。しかし、私たちの製品ではそういうことは起こりません。さらに、ランプの外装も火で研磨されているため、粒子が隠れやすい表面の凹みもなくなっています。
次に、電力についてです。
これらのランプは、集中した短波長のIRエネルギーを放出します。その利点は、迅速に所定の温度に到達できることです。チャンバ全体をオーブンのようにする必要はありません。
また、さまざまな電圧設定が用意されているので、既存の電源に簡単に接続できます。ただし、注意が必要です。これらのランプは非常に強力なので、冷却装置のサイズが適切でなければ、取り付けブラケットが変形してしまいます。スイッチを入れる前に、必ず冷却装置を確認してください。
設置も簡単です。
標準的なR7やSK15のコネクタを使用しているので、交換も簡単です。ヒーターをアップグレードするために、週末を費やして制御キャビネットの配線を変更する必要はありません。さらに、石英は化学的にも耐久性が高いので、通常の洗浄剤を使っても問題ありません。
最後に、古い設備にこれらのランプを取り付ける際のアドバイスです：ミラーを確認してください。
反射板が少しでも傾いていると、基板に局部加熱が生じてしまいます。これでは高純度ランプのメリットが台無しになってしまいます。取り付けたら、必ず熱分布を確認してください。これが、加熱エリアが均一であるかどうかを確認する唯一の方法です。