迅速な硬化、かつ汗をかかずに
工場では、スピードが何よりも重要です。迅速かつ均一に熱を供給できる赤外線ランプが必要ですが、ランプの破裂やウェーハの汚染といった危険性は避けなければなりません。当社の認定済み赤外線ランプは、高出力の環境下でも安定した動作を保ち、プロセス全体をクリーンに維持します。
パワーとサイズ：継続的な使用に最適化
これらのランプは、絶え間ない硬化処理に対応するために設計されています。400Vの高電圧により、安定した高電流が得られ、短時間の処理にも即座に反応します。300mmのチューブ長により、焦点を絞った加熱領域が形成され、標準的なウェーハホルダーやツールにぴったり収まります。
2500Wという高出力により、確実に迅速な硬化が実現します。しかし、このような高出力には適切な冷却が必要です。チャンバ内の空気の流れや熱管理をしっかり行うことで、周囲の部品が損傷したり、ランプの寿命が縮むのを防ぎます。
耐久性に優れている
チューブ自体は石英製で、急激な温度変化にも強く、短波長の赤外線領域で優れた性能を発揮します。ハロゲンガスを充填することで、フィラメントを安定させ、ランプの寿命を延ばし、予期せぬ故障を防ぎます。
コーティングも慎重に選ばれており、熱が均等に分布し、高温時に粒子が飛び散るのを防ぎます。R7sコネクタにより、振動や膨張にも耐えられ、接続部分がずれるのを防ぎます。また、Sk15端子を使えば、狭い場所でも簡単に配線でき、接続部での過熱を防げます。
生産ラインを止めない
ウェーハを硬化処理する際には、一定の温度と完全な清浄さが不可欠です。当社の認定済みランプは、内部圧力や熱衝撃、機械的ストレスを管理することで、ランプの破裂リスクを抑えます。万が一ランプが故障しても、密封システムにより石英片が処理エリアに入るのを防ぎます。
その結果、予期せぬ停止が減り、再作業も少なくなります。また、ウェーハが汚染されるリスクも大幅に低下します。直接交換用として使用し、適切な接続を行えば、安心して使用できます。