私たちがこの赤外線ランプを開発したのには、単純な理由があります。それは、供給される電力がすべて、対象物に熱として効率的に変換されるようにするためです。ウェーハ加工ラインでは、熱が無駄に散逸する余地はありません。必要なのは、正確に特定の方向にエネルギーを集中させることであり、それを実現してくれるのが金コーティングされた反射器です。
内部には、高出力のハロゲン素子があり、それは石英製のケースの中に収められています。その形状は偶然ではなく、意図的に設計されています。反射器の形状やチューブの長さが組み合わさって、必要な場所に熱を集中させ、ホットスポットの大きさを制御します。そうすることで、過剰な熱が発生することなく、目的の温度に到達できます。
出力や電圧、サイズは、小さな空間に多くの熱を集中させるために選ばれています。高出力のランプを使用すれば、迅速に高温に到達でき、熱の制御も容易になります。しかし、その分、機械もそれに対応できるようにしなければなりません。冷却システムや電気的な設計も、負荷に合わせている必要があります。高出力のランプを使用する場合は、発生する熱に対処し、配線も十分に準備しておく必要があります。
そして、その金コーティングは、見た目のためだけのものではありません。これは、高い放射率を持つ赤外線最適化済みのコーティングであり、ランプから出る光のほとんどを対象物に戻してくれます。これにより、不要な放射が減り、近くの部品が保護され、より多くのエネルギーがウェーハに届きます。
石英は、高温に耐えられ、赤外線領域でも透明度を保つため、エネルギーが効率的に伝わります。ハロゲンガスは、フィラメントを安定させ、黒ずみを防ぎ、何千時間にもわたって一定の出力を維持します。また、R7sのバイピンコネクタは、多くの産業用機器で標準的に使われており、接続が簡単で、現場でのメンテナンスも容易です。
ウェーハ加工ラインでは、金コーティングされた赤外線ランプによって、信頼性の高い熱分布が得られ、再現性の高い起動性能が実現されます。反応が速く、出力が安定し、狭い機械内でも熱の分布が整います。より多くのエネルギーがプロセスに利用され、周囲に無駄に散逸するエネルギーが少なくなります。
ただし、デメリットもあります。高出力密度のため、装置内には適切な換気や断熱処理が必要です。風の流れや取り付け方法を考慮して設計すれば、常に追いかける必要のない、実用的なランプとして機能します。