MEMSウェーハを面倒なことなく乾燥させる方法
MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるには、バランスを取る必要があります。水を速やかに除去する必要はありますが、力を入れすぎると熱応力が生じたり、不純物が残ったりする危険があります。
私たちが見つけた解決策は、赤外線ヒーターと金コーティングされた反射板を組み合わせることです。これは聞こえは複雑そうですが、実際には、熱がウェーハに直接当たるようにし、装置内部が過度に熱くならないようにするだけです。
なぜ金なのか？
一般的な石英ランプを考えてみてください。それはあらゆる方向に熱を放出します。通常の設定では、エネルギーの半分が無駄になってしまいます。しかし、反射板に高純度の金コーティングを施すことで、その赤外線の約98％を元の場所に戻すことができます。
これは単に電気代を削減するためだけではありません。実際には、パワーを効率的に利用するためです。1平方センチメートルあたりのワット数を集中させることで、目標の温度に到達する速度が大幅に向上します。結果として、処理時間が短縮され、生産性も上がります。これは双方にとって有益です。
難しい点
もちろん、単にパワーを上げればいいわけではありません。こんなに高密度の熱を扱う場合、ランプのケースに大きな負担がかかります。もし空気の流れが適切でなければ、フィラメントは予想より早く壊れてしまいます。
私たちは、できるだけ小さなサイズで、かつ効率的な加熱領域を作り出すことに重点を置いています。目標は、ウェーハの表面全体に均一な温度を保つことです。ウェーハの端が焦げてしまい、中央部分がまだ湿っている状態にはしたくありません。
正確な位置決め
最後に、位置合わせが何よりも重要です。もしランプの位置が数ミリでもずれていると、金コーティングされた反射板の焦点もずれてしまいます。そうなると、ウェーハに寒い部分ができてしまい、また最初からやり直しになってしまいます。
私たちは、硬質な取り付けブラケットを使用することをお勧めします。そうすれば、システムが振動してもランプがしっかりと固定され、ウェーハ全体に均一な温度が保たれます。