MEMSセンサウェーハ乾燥ヒーター

MEMSウェーハを面倒なことなく乾燥させる方法 MEMSセンサーのウェーハを乾燥させるには、バランスを取る必要があります。水を速やかに除去する必要はありますが、力を入れすぎると熱応力が生じたり、不純物が残ったりする危険があります。 私たちが見つけた解決策は、赤外線ヒーターと金コーティングされた反射...