わずかな配線の不具合で、大量のウェーハが台無しになっては元も子もありません。半導体業界では、わずかなアーク発生だけで、大量のウェーハがダメになってしまいます。これは本当に恐ろしいことです。だからこそ、私たちはヒーター用の配線にテフロン（PTFE）を使用しているのです。テフロンは溶融しなくても、ガスも発生せず、熱にも耐えられます。
しかし正直言って、材料だけが全てではありません。私たちは「ランダムサンプリング」を信じていません。高電圧装置では、そんなリスクは取れません。ケースにわずかな穴があったり、導体に小さな傷があっただけでも、接地故障が起きて、すべてが止まってしまいます。
そのため、私たちは別の方法を採っています。私たちの工場から出荷されるすべての配線は、完全な耐電圧試験と絶縁抵抗試験を受けます。配線の各部分を厳しくテストし、隠れた欠陥をラボ内で見つけ出します。そうすれば、機械の中で問題が発生することはありません。
テフロンが選ばれる理由は明白です。PVCやシリコンは燃えてしまいますが、テフロンはしっかりと機能します。また、体積も小さいため、狭いスペースに配線を配置する際に非常に便利です。
ただし、注意点があります。PTFEはシリコンよりも硬いので、何度も曲げる必要がある場合は、曲げ半径に注意する必要があります。過度な負荷が導体にかかってはいけません。
実際にシステムに組み込んだ後も、絶縁材が漏れ電流を防ぎます。これにより、敏感なセンサーに悪影響を与える「ゴースト信号」が発生することはありません。
私たちは配線を極限まで耐久性を確認しているので、決して弱点にはなりません。最後に一言：もしヒーターをテフロンの耐熱範囲の上限で使用する場合は、空気の流れを適切に調整してください。長期間にわたって熱がケースに影響を与えないようにする必要があります。