熱を正しく適切な場所に送る
ほとんどの赤外線加熱装置は、単純にエネルギーをあちこちに放出してしまいます。スマートセンサーのパッケージングを行う際、特にウェーハレベルで作業する場合、機械の筐体がその熱を吸収してしまうわけにはいきません。エネルギーはシリコンに直接当たるべきです。それだけです。 だからこそ、私たちは金メッキされた反射器を使用します。これは、エネルギーの無駄遣いを防ぎ、正確に方向づけるための手段なのです。
なぜ金なのか？
聞くと高級そうに思えますが、実際には単純に実用的なからです。金は赤外線を効果的に反射する能力があります。反射器に精密な金層を塗ることで、エネルギーが本来届くべき場所以外に吸収されるのを防ぎます。 広範囲にわたって弱々しく光るのではなく、集中したビームが得られます。最も良い点は、電力供給を強化することなく、より多くの熱がウェーハに届くということです。つまり、単純な道具を精密なツールに変えるのです。
「ホットスポット」の問題
しかし、エネルギーを集中させると、問題が発生します。 金メッキが不均一だったり、形状が少しでもずれていると、ホットスポットができてしまいます。この業界では、ホットスポットは大問題です。ウェーハが変形したり、センサーのパッケージングが台無しになったりする可能性があります。 私たちは焦点を正確に調整するために多くの時間を費やしています。エネルギーが表面全体に均等に分布するようにし、一部が過度に加熱されてしまう心配がないようにしています。
テーゲットとコストのバランス
完璧なものはありません。金は優れていますが、少し気難しい性質を持っています。 クリーンルームの環境が適切でなかったり、誤った洗浄剤が使われたりすると、そのメッキが剥がれたり酸化したりします。効率の向上と、表面を常に清潔に保つための労力のバランスを考える必要があります。 また、より多くの熱を狭い範囲に集中させるため、冷却装置も十分な性能を持っていなければなりません。ウェーハの端部分の熱負荷に対応できなければ、基板が過度に加熱されてしまいます。 最後に、電源が安定していることが重要です。わずかな電圧の変動でも、赤外線の波長が変わってしまい、プロセスの温度が乱れてしまいます。