오전 3시에 램프가 꺼지면, 생산 공정이 즉시 중단됩니다. 웨이퍼들이 쌓이고, 가열 과정에서의 온도 변화로 인해 제품의 품질이 저하됩니다. 우리는 이러한 문제를 방지하기 위해 특별한 반도체 램프를 개발했습니다.
장비에서 진정으로 중요한 것은 무엇인가? 우리의 할로겐 및 단파 적외선 램프는 가열 판 전체에서 웨이퍼의 온도를 ±0.1°C 이내로 유지하여, 부드러운 가열 및 강력한 가열 과정을 안정적으로 수행할 수 있도록 해줍니다. 이 램프들은 Class 1–100 등급의 청결한 환경에서 작동하며, 입자를 전혀 발생시키지 않습니다. 또한 5,000시간 이상 안정적인 성능을 유지합니다. 따라서 7×24시간 연속運転 시에도 일관된 성능을 기대할 수 있습니다. 그 결과, 예측 가능한 온도 조절과 일관된 제품 품질을 얻을 수 있습니다.
리소그래피 장비에서는 생산 속도를 저하시키지 않으면서도 온도 안정성이 매우 중요합니다. 이 램프들은 로트별로 설정된 온도를 유지하기 때문에, 부드러운 가열 및 강력한 가열 과정에서 온도가 변하지 않습니다. 이러한 일관성 덕분에 폐기물이 줄어들고, 재작업도 줄어듭니다. 또한 고효율 반사체와 스펙트럼 매칭 기술 덕분에 효율성이 향상되며, 긴 수명 덕분에 교체 횟수도 줄어듭니다.
설치할 때 주의해야 할 점은, 이 램프들은 온도의 일관성을 유지하기 위해 적절한 소켓과 제어된 냉각 시스템이 필요하다는 것입니다. 램프와 가열 판의 위치를 정확하게 맞추기 위해 충분한 시간을 할애해야 합니다. 일단 그 위치가 정해지면 공정은 안정적으로 유지됩니다. 하지만 최고 수준의 일관성을 원한다면 초기 설정이 매우 중요합니다.