난방용 램프가 웨이퍼를 손상시키는 것을 막으세요
클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 보이지도 않는 아주 작은 먼지 한 점만으로도 전체 웨이퍼가 버려지게 됩니다. 정말 짜증나는 일입니다.
문제는 일반적인 적외선 램프들이 원인이라는 점입니다. 이 램프들은 자신의 외부 코팅에서 미세한 입자들을 방출하기 때문에, 마치 작은 먼지 공장과 같은 역할을 합니다.
우리는 이 문제를 해결하기 위해 고순도 융합 석영을 사용하여 난방 요소를 만들었습니다.
왜 석영이 중요한가요?
대부분의 유리에는 금속성 불순물이 포함되어 있습니다. 우리는 이러한 불순물들을 제거할 수 있는 합성 융합 석영을 사용합니다.
석영은 단순히 열을 전달하는 역할뿐만 아니라, 저가형 램프에서 발생하는 먼지 생성도 막아줍니다. 표면을 화학적으로 안정된 상태로 유지시켜주기 때문에, 램프가 최고 온도에 도달해도 주변 환경에 아무것도 유출되지 않습니다. 그래서 항상 깨끗한 상태를 유지할 수 있습니다.
정확한 온도 조절
여기서는 정밀도가 매우 중요합니다. 와트수와 표면적 사이의 완벽한 균형이 필요합니다.
우리는 이 램프들을 조정하여 집중된 단파 적외선 스펙트럼을 생성하도록 했습니다. 에너지는 웨이퍼 표면을 빠르게 통과하지만, 주변 부품들은 손상되지 않습니다. 그 결과, 빠른 가열이 가능하며, 전체 기판에 걸쳐 일정한 온도를 유지할 수 있습니다. 이것이 바로 목표입니다.
주의사항: 반드시 조심해서 다루세요
고순도 석영은 화학적으로는 매우 강력하지만, 물리적으로는 조금 까다롭습니다. 강화 유리처럼 기계적인 충격을 견딜 수 없습니다. 만약 고정 브라켓이 너무 꽉 조여지거나 진동을 완충하는 장치가 제대로 작동하지 않으면, 석영에 금이 갈 수 있습니다. 따라서 램프가 가열될 때 충분한 공간이 확보되도록 해야 합니다.
작업 흐름에 통합하기
우리는 이 램프들을 가능한 한 쉽게 설치할 수 있도록 만들었습니다. 누구도 오랜 시간 동안 시스템을 멈춰두고 유지보수를 하는 것을 원하지 않습니다.
크기가 작고 연결부도 견고하기 때문에, 부품을 교체할 때 실수로 오염물질이 시스템에 들어가는 일도 없습니다.
마지막 팁: 진공 또는 불활성 가스를 이용한 청소 작업이 램프의 가열 과정과 일치해야 합니다. 그렇지 않으면 석영에 잔류물이 남게 되어 모든 효과가 사라질 수 있습니다.