금색 반사판이 장착된 적외선 전구
이 적외선 전구는 금으로 코팅된 반사체를 사용하여 만들어졌습니다. 그 이유는 단 하나입니다. 바로 전기의 모든 와트가 목표물에 효과적으로 열로 변환되도록 하는 것입니다. 웨이퍼 처리 공정에서는 열이 낭비되는 공간이 없습니다. 따라서 집중된 에너지가 필요한데, 바로 금...
캐논 리소그래피 히터 전구
리소그래피 작업 현장에서는 포토레지스트 베이크 중 0.5°C 온도 편차가 어떻게 크리티컬 치수(CD) 제어를 규격 밖으로 밀어낼 수 있는지 잘 알고 있을 것이다. Canon 리소그래피 히터 램프는 프로세스 윈도우 내에서 열 거동을 안정적으로 유지하도록 설계되어 교대...