Di dalam fasiliti pembuatan tersebut, proses pemanggulan bahan fotoresist bukanlah sesuatu yang boleh dibincangkan lagi. Yang penting ialah kawalan suhu yang tepat dan konsisten. Sebarang perubahan suhu sebanyak setengah darjah saja sudah cukup untuk mengganggu dimensi kritikal bahan tersebut. Ini bermakna berjam-jam kerja dalam proses litografi boleh sia-sia begitu sahaja.
Lampu IR dan selubung kuarsanya terletak di tengah-tengah lingkaran haba tersebut. Jika selubung tersebut tidak mampu mengekalkan suhu yang stabil, maka hasil keluaran akan terjejas.
Apa yang benar-benar penting di balik semua ini
Kami telah mereka ciri-ciri selubung kuarsa agar dapat menghantar gelombang IR jarak pendek dan sederhana dengan efektif, sebagaimana yang dilakukan oleh lapisan fotoresist semasa proses pemanggulan. Kestabilan suhu pada tahap wafer kekal dalam lingkungan ±0.1°C – itulah yang diperlukan untuk mengawal lebar garisan dengan tepat.
Selubung ini boleh digunakan di bilik bersih kelas 1–100, dan permukaannya dapat mengekalkan jumlah zarah di bawah had yang ditetapkan, walaupun semasa proses pemanasan berlaku. Ia direka untuk beroperasi 24/7, dan kami telah mengesahkan kestabilannya setelah lebih dari 5,000 jam penggunaan.
Mengapa ia masih berfungsi dengan baik semasa pengeluaran
Selubung ini memastikan kekonsistenan suhu tanpa adanya gangguan haba atau kawasan yang terlalu panas. Ini mengurangkan jumlah wafer yang rosak akibat masalah pada bahagian tepinya, dan kestabilan dimensi kritikal bahan tersebut tetap terjaga.
Penggunaan tenaga juga berkurangan kerana selubung ini dapat menghantar IR dengan efektif – ini bermakna penggunaan elektrik untuk lampu berkurangan, namun suhu yang dihasilkan tetap stabil. Selain itu, ia merupakan alternatif yang sesuai dengan standard yang digunakan oleh pengeluar lampu IR, tanpa perlu mengubah keseluruhan sistem pemanasan.
Butiran yang tidak boleh diabaikan
Toleransi pemasangan harus dipatuhi dengan ketat. Pastikan selubung tersebut diletakkan pada posisi yang betul; jika tidak, akan timbul masalah seperti pencahayaan yang tidak merata atau kawasan yang terlalu panas. Sebelum menukar komponen, pastikan jenis sambungan lampu serta dimensi selubungnya sesuai.
Gunakan alat dan sarung tangan yang sesuai untuk bilik bersih semasa memasangnya. Cap jari pada permukaan kuarsa boleh menyebabkan masalah haba yang tidak diinginkan. Gantilah selubung tersebut mengikut jadual yang ditetapkan, bukan hanya apabila ia rosak – jika tidak, anda akan menghadapi risiko terhadap prestasi sistem pemanasan anda.