Menghentikan Kegagalan Lampu dalam Proses Pemprosesan Wafer
Sejujurnya, apabila lampu dalam sistem pemprosesan berkapasiti tinggi gagal berfungsi, ia merupakan situasi yang sangat menyusahkan. Bukan sahaja menyebabkan masa henti operasi yang panjang dan bunyi amaran yang mengganggu, tetapi juga menciptakan kekacauan.
Apabila tiub kuarz patah, serpihan kaca dan gas halogen akan jatuh terus ke atas wafer tersebut. Ini akan menyebabkan pencemaran yang serius. Itulah sebabnya kami reka komponen reflektor ini untuk berfungsi sebagai pelindung fizikal.
Bagaimana reflektor berfungsi
Kebanyakan orang menganggap bahawa reflektor hanya berfungsi untuk memantulkan sinar inframerah kembali ke permukaan wafer. Memang betul, tetapi kami merancang reflektor ini agar dapat menahan serpihan-serpihan tersebut. Kami menggunakan bentuk parabola yang mendalam serta pengedap yang ketat. Ia sama seperti kolam penampungan air. Jika tiub kuarz patah akibat tekanan haba, serpihan-serpihan tersebut akan tertinggal di dalam komponen tersebut. Dengan cara ini, wafer akan tetap bersih.
Bahan-bahan yang digunakan
Kami menggunakan aluminium berkualiti tinggi serta lapisan reflektif khusus untuk memaksimumkan penggunaan sinar inframerah. Tujuannya adalah untuk memberikan kepadatan haba yang diperlukan, tanpa perlu menggunakan tenaga yang berlebihan pada lampu tersebut. Menggunakan tenaga yang berlebihan biasanya menyebabkan lampu tersebut rosak.
Namun, anda perlu memastikan aliran udara berjalan dengan baik. Jika komponen tersebut menjadi terlalu panas, lapisan reflektif tersebut boleh rosak, dan prestasi lampu akan menurun. Semua ini memerlukan keseimbangan yang tepat.
Memudahkan penyelenggaraan
Kami juga benci proses penyelenggaraan yang rumit. Oleh itu, kami reka komponen ini agar mudah diganti. Anda boleh mengeluarkan lampu dan reflektor tersebut sebagai satu unit sahaja. Ini memudahkan proses penggantian. Selain itu, ia juga membantu mengelakkan serpihan-serpihan daripada masuk ke dalam sistem semasa proses penyelenggaraan.
Perlu diingat: tiada pelindung yang benar-benar kedap udara. Kami dapat menahan sebahagian besar serpihan, tetapi anda masih memerlukan sistem vakum yang efektif untuk menguruskan gas yang terhasil dari tiub yang rosak.
Satu lagi tip: Periksa kedudukan reflektor setiap 500 jam. Ini akan membantu mengelakkan masalah suhu yang berlebihan yang boleh merosakkan tiub kuarz.