Jangan biarkan lampu pemanas merosakkan wafer anda
Jika anda menggunakan bilik bersih kelas 100, anda pasti tahu betapa menyakitkannya situasi ini. Sebuah zarah debu yang sangat kecil pun boleh merosakkan keseluruhan wafer yang ada. Ia sangat menjengkelkan.
Masalahnya ialah lampu IR biasa sering menjadi penyebabnya. Lampu-lampu ini mengeluarkan zarah-zarah mikro dari permukaannya, seolah-olah ia merupakan “kilang debu” di tempat yang paling tidak sesuai untuk berlakunya hal tersebut.
Kami telah menyelesaikan masalah ini dengan menggunakan unsur kuarsa tulen sebagai bahan pembuat lampu pemanas tersebut.
Mengapa kuarsa begitu penting?
Kebanyakan kaca mengandungi bahan pencemar logam. Kami menggunakan kuarsa sintetik kerana ia dapat menghilangkan semua bahan pencemar tersebut. Kuarsa bukan sahaja berfungsi untuk menyerap haba, tetapi juga mencegah pengeluaran zarah-zarah mikro. Permukaan kuarsa juga kekal stabil secara kimia. Ini bermakna, apabila lampu mencapai suhu maksimum, tiada bahan berbahaya yang akan keluar ke persekitaran sekeliling. Permukaannya tetap bersih.
Memastikan suhu yang tepat
Ketepatan sangat penting di sini. Anda perlu mencapai keseimbangan yang sempurna antara kuasa dan luas permukaan. Kami telah menyetel lampu-lampu ini agar dapat menghasilkan sinar IR frekuensi rendah yang efektif. Tenaga tersebut dapat menembusi permukaan wafer dengan cepat, tanpa merosakkan komponen-komponen di sekelilingnya. Ini memastikan suhu yang stabil pada seluruh permukaan wafer. Itulah tujuannya.
Amaran: Berhati-hati semasa mengendalikannya
Kuarsa tulen memang sangat kuat dari segi kimia, tetapi ia agak rapuh dari segi fizikal. Ia tidak boleh bertahan terhadap tekanan mekanikal yang tinggi seperti kaca yang lebih kuat. Jika sokongan lampu terlalu ketat atau sistem penyerap getaran tidak berfungsi dengan baik, lampu tersebut boleh retak. Pastikan lampu mempunyai ruang yang cukup untuk mengembang ketika dipanaskan.
Mengintegrasikannya ke dalam proses kerja anda
Kami telah reka unit ini agar mudah digunakan. Tiada siapa yang mahu menghentikan operasi untuk tujuan penyelenggaraan. Saiz lampu ini kecil, dan sambungannya kukuh, jadi ia tidak akan menyebabkan kotoran masuk ke dalam sistem semasa penggantian komponen.
Satu lagi tip: Pastikan sistem penyaringan vakum atau gas inert berfungsi dengan baik bersama-sama dengan lampu tersebut. Jika kedua-duanya tidak berfungsi bersama, residu boleh terkumpul pada permukaan kuarsa, dan ini akan merosakkan fungsi lampu tersebut.