Правильная температура в вакуумной камере
Если вы строите современный завод по производству микросхем, вы, вероятно, уже поняли, что управление тепловой энергией представляет некоторые сложности. Как только из вакуумной камеры выкачивается воздух, процесс конвекции прекращается. Остается только использование излучения для нагрева объектов.
Именно здесь и пригождаются инфракрасные системы. Вместо того чтобы бороться с условиями вакуума, они работают вместе с ними, направляя энергию прямо на цель, без необходимости использования посредников.
Никаких догадок относительно температуры
Мы все имели дело со стандартными резистивными нагревателями. Проблема в том, что они работают медленно: им требуется много времени для нагрева, а также ещё больше времени для охлаждения. Это создает серьезные проблемы при управлении процессом с помощью метода PID. Это затрудняет анализ данных и делает весь процесс похожим на управление кораблем с сломанным рулем.
Инфракрасные нагреватели работают мгновенно. Поскольку они реагируют в реальном времени, их можно подключить непосредственно к контроллеру PLC. Вы больше не должны полагаться на данные термопар, а можете точно определять температурный профиль поверхности пластин. Это значительно упрощает управление процессом.
Реалии работы в вакууме
Работа оборудования в вакууме имеет свои особенности. Во-первых, проблема заключается в выделении газов. Никто не хочет, чтобы примеси портили процесс производства. Чтобы этого избежать, используется кварц высокой чистоты и специальные покрытия на лампах, чтобы сохранить чистоту окружающей среды.
Кроме того, важна мощность нагревателей. Необходимо достичь нужной температуры как можно быстрее, чтобы процесс продолжался. Но здесь есть проблема: высокая мощность в тесном вакуумном пространстве приводит к значительному накоплению тепла. Если системы охлаждения не справляются с этой задачей, возникают проблемы с уплотнениями и датчиками. Это требует тщательного балансирования.
Эффективное использование пространства
Никто не хочет, чтобы система нагрева занимала половину пространства в чистой комнате. С использованием инфракрасных нагревателей мы можем разместить источник тепла гораздо ближе к цели. Это позволяет избавиться от массивных корпусов и сложных конструкций. Таким образом, вся система становится простой заменой старым, громоздким устройствам.
В результате на один квадратный метр пола можно производить больше пластин. Схема расстановки оборудования становится проще, размеры уменьшаются, а процесс производства становится более эффективным.