别再让加热灯损坏你的晶圆了
如果你在100级洁净室中工作，那么你一定知道那有多糟糕。哪怕只有一粒微小的灰尘——小到肉眼都无法看见——就足以让整批晶圆报废。这真是令人沮丧。
问题在于，普通的红外灯往往是罪魁祸首。它们会释放出微量颗粒物，简直就像一个个“灰尘制造机”，而这种状况恰恰发生在最需要保持洁净的环境中。
我们通过使用高纯度熔融石英作为加热元件来解决这个问题。
为什么石英如此重要？
大多数玻璃都含有金属杂质。而我们使用的则是合成熔融石英，因为它可以去除所有这些杂质。
它不仅能传递热量，还能防止那些廉价灯泡所造成的颗粒物泄漏问题。我们对石英表面进行了处理，使其具有化学稳定性。这样，当灯达到最高温度时，就不会有任何物质泄漏出来，从而保持环境的洁净。
如何精确控制热量
精度至关重要。必须确保功率与表面积之间达到最佳平衡。
我们调整了这些灯的参数，使其能发出集中的短波红外光。这样的能量可以快速穿透晶圆表面，而不会加热周围的设备。这样一来，整个基板的温度就能保持稳定。这就是我们的目标。
注意事项：小心操作
高纯度石英在化学性质上虽然很稳定，但在物理特性上则比较脆弱。它无法承受像强化玻璃那样的机械应力。如果固定装置夹得太紧，或者减震效果不佳，就可能导致石英出现细微裂纹。因此，请确保灯具有足够的空间来膨胀。
如何将其整合到工作流程中
我们尽可能让这些灯具易于安装。毕竟，没人希望因为维护而停止生产太长时间。
它们的体积很小，连接也很牢固，这样在更换部件时就不会意外引入污染物。
最后一点建议：确保真空或惰性气体净化系统与灯具的加热过程同步。如果不这样做，石英表面就可能会积累残留物，从而失去其作用。