Ihre Reinraumumgebung auf einem Niveau von Klasse 100 halten – das ist möglich!
Wenn Sie Siliziumwafers in einer Reinraumumgebung der Klasse 100 erhitzen, kennen Sie sicherlich die Probleme, die dabei entstehen können. Schon ein kleiner Staubkorn oder etwas Ausgasung kann dazu führen, dass die gesamte Charge unbrauchbar wird. Das ist frustrierend. Die meisten herkömmlichen Heizelemente eignen sich nicht dafür – sie zerfallen unter dem Einfluss der hohen Temperaturen und ruinieren somit die Qualität der Wafers.
Deshalb verwenden wir für unsere IR-Lampen hochreinen synthetischen Quarz.
Warum der Quarz wichtig ist
Wir verwenden gefüllten Siliziumdioxid. Er ist äußerst rein – dadurch müssen Sie sich keine Sorgen darüber machen, dass Metallionen bei hohen Temperaturen ausströmen könnten. Herkömmliches Glas oder billigeres Material kann den thermischen Belastungen nicht standhalten und bricht dabei zusammen. Unser Material bleibt fest – dadurch kann das Kurzwellen-IR-Licht direkt auf die Oberfläche der Wafers strahlen. So erhalten Sie die benötigte Wärme, ohne dass es zu Kontaminationen kommt.
Die richtige Entfernung einstellen
Die Entfernung zwischen der Lampe und den Wafers ist entscheidend. Ist sie zu gering, entstehen Hotspots – oder schlimmer noch: physischer Kontakt zwischen der Lampe und den Wafers. Ist sie zu groß, nimmt die Wärmestärke ab, und alles wird langsamer. Wir investieren viel Zeit in die Justierung der Brennweite, damit die Wärme gleichmäßig über die gesamte Waferoberfläche verteilt wird.
Achten Sie aber auch auf die Leistungsdichte der Lampe. Hochleistungs-Lampen liefern eine große Menge an Energie – das ist zwar gut für die Geschwindigkeit, doch es belastet die Klimaanlage stark. Wenn Sie die Leistung erhöhen, um die Prozesszeiten zu verkürzen, stellen Sie sicher, dass die Kühlvorrichtungen in der Lage sind, die entstehende Wärme abzuführen. Sie möchten schließlich nicht, dass Ihre empfindlichen Elektronikkomponenten beschädigt werden.
Die technischen Details der Installation
Wir haben diese Lampen so konstruiert, dass sie leicht ausgetauscht werden können. Wenn ein Teil ausgetauscht werden muss, kann man schnell wieder weiterarbeiten. Zudem haben wir die Verbindungen verstärkt, damit Vibrationen keine Staubpartikel freisetzen können. Denken Sie jedoch daran: Die Lampe allein reicht nicht aus. Überprüfen Sie auch die Befestigungssysteme. Wenn dort Farbe verwendet wird, die in den Prozessraum gelangt, kann selbst der reinste Quarz nichts gegen das Problem ausrichten. Stellen Sie sicher, dass die Befestigungen nicht abplatzen – dann ist alles in Ordnung.