キヤノンリソグラフィーヒーターバルブ

リソグラフィ工程では、フォトレジストのベイク時に0.5°Cのドリフトがどれほど迅速にCD（クリティカルディメンション）制御を仕様外に追い込むかを認識しています。Canonのリソグラフィ用ヒーターバルブは、シフトごとに熱挙動をプロセスウィンドウ内に安定させるよう設計されています。 内部で重要なポイン...