ウェーハ用高精度IRセンサー

加熱ランプによってウェーハがダメになるのを防ごう クラス100のクリーンルームを運営している方なら、その苦労はよくご存知でしょう。見えないほど微細なほこり一つでも、ウェーハ全体が無駄になってしまいます。本当に困りますよね。 問題は、一般的なIRランプがその原因であることです。これらのランプからは微...