グローブボックス用赤外線ヒーター素子

グローブボックス内の赤外線ランプのことで悩むのはやめましょう。 高負荷の半導体製造を行っている人なら、その恐ろしい状況をご存知でしょう。グローブボックス内で赤外線ランプが壊れてしまうと、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハに降り注ぎます。 これは大変な混乱を引き起こし、費用もかさみます。そして、一...