半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業を行う際、最も避けたいのは、ヒーターから粒子が飛び散ってしまうことです。それは大変な問題です。一般的な抵抗型ヒーターは、加熱や冷却の際に剥がれ落ちたり、ガスを放出したりする傾向があります。 そのため、私たちは半導体...