ウェーハ加熱時の安全距離

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もし、クラス100の環境でシリコンウェーハを加熱する場合、その苦労はよくご存知でしょう。わずかな破片やガスの放出だけで、生産されたウェーハ全体が廃棄処分になってしまいます。本当に困りますよね。一般的な加熱素子では、このような状況に対応でき...