化学処理エリアで赤外線ヒーターを使用する場合、どれほど危険な状況かは想像に難くありません。周囲には可燃性の蒸気が漂っており、さらに腐食性の物質も存在します。そうした環境では、通常のワイヤー接続では不十分であり、むしろ危険すらあります。わずかな火花やシールの緩みだけで、大惨事につながりかねません。...

製造現場では、ソフトベイクの際にわずか0.5度程度のずれがあっても、ウェーハの線幅が目標値から外れてしまい、多くのウェーハが廃棄されてしまいます。そうした問題を解決するために、私たちはセラミック式の赤外線ヒーターパネルを開発しました。これにより、加熱の特性はレシピ通りになり、ホットプレートの状態に...