フォトレジスト用の最適な赤外線ランプ
なぜOEMグレードの赤外線ランプが半導体パッケージングラインにおける収益源となるのか
パッケージングラインについて話しましょう。ここでは迅速な作業が求められます。1分間たりとも停止したり、均一でない加熱が起きたりすると、それだけで大きな損失につながります。まさにそのために、私たちはフォトレジスト処...
フォトレジスト乾燥用赤外線モジュール
ファブフロアでは、ソフトベークの温度がわずか0.5℃ずれるだけで、重要寸法制御に影響を及ぼし、現像後にスカムが残ることがあります。もはや推測の余地はありません。フォトレジスト乾燥用赤外線モジュールは、その変動要因を排除し、ウェハーレベルの均一性とクリーンルームの管理が唯一の許容基準となる環境下で繰...