わずかな配線の不具合で、大量のウェーハが台無しになっては元も子もありません。半導体業界では、わずかなアーク発生だけで、大量のウェーハがダメになってしまいます。これは本当に恐ろしいことです。だからこそ、私たちはヒーター用の配線にテフロン（PTFE）を使用しているのです。テフロンは溶融しなくても、ガス...

安全を守る：化学洗浄における金メッキ処理されたIRランプ 半導体製造ラインで作業する際、通常は熱に弱い溶剤を扱うことになります。これらの溶剤は揮発性が高く、可燃性もあります。そんな環境に高温の赤外線光源を使うと、火災が起きる可能性が非常に高くなります。 悪い事態を防ぐために、私たちは2つの対策を講...

クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つために クラス100の環境で作業を行う際、最も避けたいのは、ヒーターから粒子が飛び散ってしまうことです。それは大変な問題です。一般的な抵抗型ヒーターは、加熱や冷却の際に剥がれ落ちたり、ガスを放出したりする傾向があります。 そのため、私たちは半導体...

マシンの外壁を加熱するのはやめよう（部品自体を加熱しよう） 半導体関連の機器を扱ったことがある人なら、その「過度な発熱」という問題を知っているでしょう。対流式の加熱装置を使うと、内部のケース全体が巨大なラジエーターのようになります。外壁が非常に高温になり、デリケートな電子部品が壊れてしまう心配が出...

ファブの現場では、フォトレジストの焼成時に0.5℃の温度変動があっただけで、300mmウェハが廃棄処分になってしまいます。したがって、温度制御は単なる補助的な作業ではなく、プロセスが成立するための不可欠な要素です。私たちは、ウェハ全体の温度を±0.1℃以内に保つことができるNIR加熱システムを開発...

午前3時にランプが停止すると、すぐに生産ラインが停止してしまいます。ウェーハが積み重なり、加熱プロファイルも乱れ、結果として歩留まりも低下します。私たちは、そうした状況を防ぐために半導体ランプを開発しました。 装置において本当に重要なのは何か？ 私たちのハロゲンランプや短波赤外線ランプは、加熱プレ...

製造現場において、熱的制約というのは単なる目安ではなく、決して超えてはいけない境界線です。フォトレジスト処理の際に数度でも温度が低下すると、エッチング後に寸法が変わってしまいます。その結果、歩留まりが悪化します。そこで、半導体ヒーター用の熱電対を設置し、各加熱工程での不確実性を排除しました。 技術...